DHDP& DHIP 系列 射頻 CCP/ICP 薄膜沉積裝置
本裝置由我公司和中科院固體物理研究所聯合研制。設備主要由薄膜沉積室、真空抽氣系統、氣源進氣調節系統、襯底加熱溫度控制系統等部分組成。
主要實驗內容
1、硅材料在薄膜太陽能電池上的應用；
2、硅系納米復合薄膜材料 PCVD 法制備；
3、等離子體化學氣相沉積制備各種功能薄膜。
技術參數
本裝置由我公司和中科院固體物理研究所聯合研制。設備主要由薄膜沉積室、真空抽氣系統、氣源進氣調節系統、襯底加熱溫度控制系統等部分組成。
主要實驗內容
1、硅材料在薄膜太陽能電池上的應用；
2、硅系納米復合薄膜材料 PCVD 法制備；
3、等離子體化學氣相沉積制備各種功能薄膜。
技術參數
